半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

　　制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程

　　電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：

　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

　　3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

　　電子超純水設(shè)備特點(diǎn)

　　設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

　　電子工業(yè)用超純水的應(yīng)用領(lǐng)域

　　1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

　　2、超純材料和超純化學(xué)試劑;

　　3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間;

　　4、汽車、家電表面拋光處理;

　　5、光電產(chǎn)品;

　　6、其他高科技精微產(chǎn)品;

　　三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較

　　目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：

　　1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

　　2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

　　3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

　　電子工業(yè)反滲透超純水設(shè)備工藝

　　電子工業(yè)用超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無機(jī)物等簡直全部往除的水)概述

　　半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各類電子器件、微電子工業(yè)、年夜范圍、超年夜范圍集成電路需用年夜批的高純水(含鹽量在0.3mg/L以下,電導(dǎo)率小于0.2μs/cm的水)、超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無機(jī)物等簡直全部往除的水)清洗半制品、制品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的請求也越高。今朝我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技巧分為五個行業(yè)尺度，分辨為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分分歧水質(zhì)。

　　用兩級反滲透制取

　　電子工業(yè)超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無機(jī)物等簡直全部往除的水)處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過程)設(shè)備 采用兩級反滲透主機(jī)加EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的超純水)(電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng)))(Electrodeionization)的簡稱)

　　制取電子工業(yè)超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無機(jī)物等簡直全部往除的水)處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過程)設(shè)備