ContourX-500 光學(xué)輪廓儀是功能面的自動化臺式系統(tǒng)，可快速完成非接觸式三維表面計量。ContourX-500 具有的 Z 軸分辨率和準確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認可的所有優(yōu)勢，而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置，適用于從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證／質(zhì)量控制（QA/QC）計量到眼科和微機電系統(tǒng)（MEMS）器件的研發(fā)表征等廣泛的復(fù)雜應(yīng)用。
1 ）的臺式三維形貌計量設(shè)備
* 與放大倍率無關(guān)的業(yè)界Z軸分辨率
* 高級自動化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調(diào)整
* 更緊湊的氣動減震臺設(shè)計
2 ）的測量與分析功能
* 易于使用的界面，可快速準確地獲得結(jié)果
* 廣泛的自動化功能，可量身定制測量和分析程序
* 泛的濾鏡和分析工具
* 滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內(nèi)的定制化分析報告
3）高級自動化功能
布魯克專有的自動傾斜測頭為生產(chǎn)和監(jiān)測提供了的靈活性。通過將自動傾斜測頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量。這樣可以減少操作員的干預(yù)，提供的可重復(fù)性。進一步結(jié)合自動樣品臺和物鏡塔臺，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求，且占用空間小。
4）的分析與回報
通過上千項自定義分析功能和簡潔而強大的VisionXpress™和Vision64®用戶界面，ContourX-500為提高實驗室和工廠車間的生產(chǎn)率進行了優(yōu)化。這種的硬件和軟件組合提供了對高可重復(fù)性和高通量計量學(xué)測量的便捷訪問，超過了同類計量設(shè)備的能力。傳統(tǒng)的樣品臺傾斜方式需要通過使用者調(diào)整五個運動軸才能保證測試位置保持在入射光垂直測試位置。布魯克的傾斜測頭設(shè)計使其在移動時能一直保持測試位置準確聚焦成像，無需擔(dān)心調(diào)整樣品傾角時視場移動，從而更輕松、快速、自動測量。
相關(guān)圖片
1）傳統(tǒng)的俯仰滾動工作臺設(shè)計需要操作人員調(diào)整五個旋轉(zhuǎn)軸，以將檢測點保持在視線上進行測量。布魯克的光學(xué)頭傾斜/俯仰設(shè)計，不受傾斜影響，都能將視線保持在檢測點上，從而優(yōu)化圖像采集，并大幅縮短數(shù)據(jù)獲取時間
2）分析微流體器件的底部通道，通過 Vision64 的多個區(qū)域直接提取
