質(zhì)量流量控制器的工作原理:
質(zhì)量流量控制器由驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣路閥門(mén)開(kāi)口大小的控制(閥控)、調(diào)節(jié)、關(guān)閉等,當(dāng)要求關(guān)閉質(zhì)量流量控制器時(shí),質(zhì)量流量控制器直接控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)執(zhí)行關(guān)閉或開(kāi)起動(dòng)作,當(dāng)需要對(duì)質(zhì)量流量控制器流量實(shí)施閥控調(diào)節(jié)時(shí),質(zhì)量流量控制器驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與流量傳感器和放大比較電路組成閉環(huán)負(fù)反饋控制,給定值由另三個(gè)控制單元提供,實(shí)際流量大小由傳感器信號(hào)放大,送給顯示模塊顯示,質(zhì)量流量控制器通過(guò) PLC 和 D/A 模塊,借助外圍輔助電路,既能給 MFC 提供各種開(kāi)關(guān)量控制信號(hào),又能供給大小可調(diào)的模擬量信號(hào),從而達(dá)到用軟件程序?qū)怏w的靈活控制。
質(zhì)量流量控制器實(shí)物圖片: