特點(diǎn)

•Z軸裝有數(shù)顯弧形標(biāo)尺，可以提供更大的測(cè)量范圍和更高的分辨率，從而不必再依靠測(cè)量倍率。

•可以應(yīng)用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)(個(gè)人計(jì)算機(jī)和Formpak-1000軟件)。

*連接PC后， Formpak-1000輪廓分析程序可提供多種測(cè)量和分析方式。連接XY繪圖儀后，可在輸出前通過顯示裝置檢測(cè)輪廓曲線。

技術(shù)參數(shù)

X1軸

　測(cè)量范圍: 50mm (CV-1000)或100mm(CV-2000)

　分辨率: 0.2µm

　檢測(cè)方法:反射型線性編碼器

　驅(qū)動(dòng)速度: 0.2, 1mm/s和手動(dòng)

　測(cè)量速度: 0.2, 0.5mm/s

　移動(dòng)方向:向后

　直線度: 3.5µm/50mm (CV-1000),

3.5µm/100mm (CV-2000)

*當(dāng)X軸在水平方向上

　指示精度:±(3.5+2L/100)µm

* L為驅(qū)動(dòng)長度(mm)

　傾斜范圍:±45°(CV-2000)

Z2軸(立柱，僅用于CV-2000)

　立柱類型:電動(dòng)(S4型)和手動(dòng)(M4型)

　垂直行程: 250mm (S4型), 320mm (M4型)

　分辨率: 0.2µm (S4型)

　檢測(cè)方法: ABSOLUTE線性編碼器(S4型)

　驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 5mm/s和手動(dòng)

Z1軸(檢測(cè)器)

　測(cè)量范圍: 25mm (CV-1000)或40mm (CV-2000)

　分辨率: 0.4µm (CV-1000)或0.5µm (CV-2000)

　檢測(cè)方法:弧形編碼器

　指示精度: ±(3.5+I4HI/25)µm

(20°C時(shí)) *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)

　測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)

　測(cè)針方向:向下

　測(cè)力: 10 - 30mN

　跟蹤角度:向上：77°、向下：87°

(根據(jù)表面粗糙度，

使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)

測(cè)針針尖半徑: 25µm、硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)

基座材料:花崗巖(CV-2000)

重量: 5kg (CV-1000N2),

115.8kg (CV-2000M4),

124kg (CV-2000S4)

電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz

能耗: 150W (主機(jī))