JS100A是卓聚科技自主開發(fā)的國產(chǎn)臺階儀。具有高精度,高分辨率,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供 穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS100A臺階儀采用金剛石探針,并提供多種可選的曲率半徑,探針施加的力通過程序控制。JS100A臺階儀提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實(shí)時觀察掃描區(qū)域。
JS100A臺階儀為多種不同表面提供結(jié)構(gòu)及表面解析,包括:薄膜厚度,溝槽深度等。
JS100A臺階儀應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、太陽能、LED、光電子、生物醫(yī)學(xué)器件、MEMS、薄膜化學(xué)圖層、平板顯示、觸摸屏、材料學(xué)等。