BYT-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶體生長爐(采用感應(yīng)熔煉對金屬樣品熔化,額定溫度可達(dá)2100℃)。此系統(tǒng)采用組成:高頻感應(yīng)加熱電源,高真空腔體,石墨坩堝和精密提拉機(jī)構(gòu)。
VIF真空感應(yīng)熔煉爐
| 型號 | VIF-CZ | |||
額定熔煉重量(按鐵液計算) | 1Kg | ||||
額定加熱溫度 | 2100度 | ||||
高頻加熱電源 | 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
額定輸入功率 | 35KW | ||||
加熱電流 | 12-70A | ||||
冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
電源重量 | 35KG | ||||
負(fù)載持續(xù)率 | 99% | ||||
輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
腔體真空度(分子泵機(jī)組) | < 8X10-4Pa | ||||
腔體充氣壓力 | < 0.5MPa | ||||
升壓率 | <4Pa/小時 | ||||
斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
過溫保護(hù) | 有 | ||||
過流保護(hù) | 有 | ||||
欠壓保護(hù)(水壓) | 有 | ||||
控溫模式 | 智能PID | ||||
控制精度 | +/- 1~ 5 ℃(600度以上) | ||||
溫度檢測方式 | B型熱電偶和紅外測溫儀相結(jié)合。溫度超過1800度,熱電偶退出,用紅外測溫儀測溫。 B型熱電偶的測量范圍:0-1800℃ 紅外測溫儀的測量范圍:900-2300℃ 點(diǎn)擊查看視頻 | ||||
紅外測溫儀 | 美國進(jìn)口紅外測溫儀,特點(diǎn)1、響應(yīng)時間快、高精度; 2、可24小時實(shí)時連續(xù)在線測溫、安全、耐用; 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測量高溫小目標(biāo); 4、10毫秒的響應(yīng)時間和&±0.3%的重復(fù)性精度,保證滿足您進(jìn)行快速、*測溫的要求。 | ||||
觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
選購 |
銅模 石墨漏斗 鉬攪拌桿 鎢坩堝 | ||||
電動攪拌裝置(選配) | 該爐可以配攪拌裝置,可以勻速的對物料進(jìn)行攪拌,攪拌棒由一個調(diào)速電機(jī)帶動、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封,攪拌棒和電機(jī)在電動動絲桿的帶動下可以上下自由滑動,進(jìn)入坩堝和從坩堝里出來。 | ||||
提拉機(jī)構(gòu) | 精密可旋轉(zhuǎn)(籽晶桿可旋轉(zhuǎn))提拉機(jī)構(gòu),提拉速度為0.1μm/s~2000μm/s 總行程:150mm (可根據(jù)客戶需要定制) 轉(zhuǎn)速:0-40RPM 可快速手動提拉 | ||||
真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
波紋管 | KF40X1000 | ||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||
前級機(jī)械泵FX-32
| 功率 | 1、2KW | |||
電壓 | 380V | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
進(jìn)氣口徑 | KF40 | ||||
前機(jī)泵抽氣速率(L/S) | 8 | ||||
極限壓強(qiáng) | 4X10-2Pa | ||||
復(fù)合真空計
| 復(fù)合真空計型號 | ZDF | |||
電源 | 220V 55W | ||||
控制精度 | &± 1% | ||||
真空計測量范圍 | 10-5-105Pa | ||||
二級泵 為分子泵 (方案一) | 分子泵 (可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa)
| 分子泵型號 | FJ620 | ||
輸入電壓 | 220V | ||||
分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
分子泵抽氣速率L/S(對空氣) | 600 | ||||
分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) | 6×10-7 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
冷卻水壓(MPa) | 0.1-0.2 | ||||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
建議啟動壓強(qiáng) | <100Pa | ||||
| 二級泵為擴(kuò)散泵
(方案二) | 擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa) | 電壓 | 220V | |
功率 | 1000W | ||||
極限真空度(在無泄露時) | 10E-5Pa | ||||
進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
出氣接口 | DN40 | ||||
注入油量 | 0.3L | ||||
抽氣速率(N2) | 1000L/S | ||||
水冷機(jī)(選購)
| 電源 | 220V 1、68KW | |||
額定揚(yáng)程 | 25M | ||||
額定流量 | 16L/min | ||||
水箱容量 | 15L | ||||
制冷量 | 4420Kcal/h | ||||
出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
機(jī)器尺寸 | 67X47X89(長X寬X高) |
注意事項
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa(相對氣壓)的低壓條件下使用;
2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗,必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥,減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa,
進(jìn)氣流量<200SCCM(200ml/min)
3、請您仔細(xì)閱讀說明書,了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過程中請密切監(jiān)控并正確控制反
應(yīng)容器內(nèi)部壓力,否則,操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害
4、對樣品加熱時,不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對樣品加熱,要時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)
大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防不可預(yù)見的損失
如您需要定制,請聯(lián)系我公司工程師
設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體,側(cè)部開門結(jié)構(gòu),進(jìn)出料方便,爐體結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間較小。
2、可以50段程序控溫,控溫*,可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔,可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測溫儀,可以*的測量加熱套的溫度。
6、配有分子泵,真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī),水冷機(jī)具有欠壓和斷水報警,使用安全可靠。
8、采用IGBT電源,具有過溫、斷水保護(hù)并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長。
結(jié)構(gòu)說明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺、電控系統(tǒng)等組成,爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺架上,使整個設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動,并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體:為全304不銹鋼結(jié)構(gòu),氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu),保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu),爐蓋打開方式為手動,并加有鎖緊裝置,爐蓋上設(shè)有觀察孔,方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架:由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu),爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購測溫元件時):溫控系統(tǒng)是由測溫系統(tǒng),溫控儀表組成,爐體上配有紅外測溫儀,把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號,控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率,這樣形成一個閉合回路,可以對爐子的升溫進(jìn)行編程控制,可以進(jìn)行50段程序控溫,控溫精度準(zhǔn)確,升溫速率可調(diào),并可以進(jìn)行恒溫,以方便控制澆鑄時的溫度控制。
供貨范圍
序號 | 產(chǎn)品名稱 | 生產(chǎn)廠家 | 數(shù)量 |
1 | 爐體系統(tǒng) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
2 | 直聯(lián)泵 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 臺 |
3 | 擴(kuò)散泵 |
| 1 臺 |
4 | 復(fù)合真空計 | 成都正華 | 1 臺 |
5 | IGBT 電源 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
6 | 匯流水管 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
7 | 高真空閥門 | 川北科技 | 3 件 |
8 | 感應(yīng)線圈 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
9 | 真空管路 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
10 | 說明書 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 2 套 |
11 | 紅外測溫儀 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
12 | 提拉機(jī) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |