Formtracer Extreme (超級(jí)表面粗糙度/ 輪廓測(cè)量裝置)
525系列 — CNC 表面粗糙度和輪廓測(cè)量系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn) |
●高精度觸針型CNC表面測(cè)量?jī)x可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀/輪廓的測(cè)量。 |
●X1軸和Z2軸的驅(qū)動(dòng)速度分別為40mm/s和200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓/多工件測(cè)量的效率。 |
●X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨力的輪廓/ 形狀測(cè)量、表面粗糙度的批量測(cè)量。 |
●Z1軸檢出器采用主動(dòng)控制方式,減少Z1軸動(dòng)態(tài)測(cè)力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測(cè)量范圍。 |
●Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置,當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí),檢測(cè)裝置可以自動(dòng)停止工作。 |
●CS-5000CNC帶有a軸,可以通過電動(dòng)旋轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測(cè)量水平面和傾斜面。 |
●帶有Y軸工作臺(tái)的型號(hào),可沿Y軸進(jìn)行多工件定位,從而增加了多工件測(cè)量范圍。 |
●可選的外部控制功能(外部I/O),與PLC實(shí)現(xiàn)雙向通信(RS-232C)。 |
產(chǎn)品規(guī)格 |
貨號(hào) | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 軸 | 測(cè)量范圍 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625μm | |||
長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 激光全息測(cè)微計(jì) | |||
驅(qū)動(dòng)速度 | CNC型 | 40mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
測(cè)量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
測(cè)量方向 | 向前/ 向后 | |||
直線度 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | |
(使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | (0.2+0.0015L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ||
精度(20℃) | ±(0.3+0.002L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ||
Z1 軸 (檢出器 | 測(cè)量范圍 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 12mm | 12 μm |
(使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 24mm | 24 μm | ||
分辨力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
(使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
測(cè)針針尖垂直運(yùn) | 弧形移動(dòng) | |||
長(zhǎng)度基 | 激光全息測(cè)微計(jì) | |||
精度 (20oC) | ±(0.3+|0.02H|)μm H: 測(cè)量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 測(cè)量高度 (mm) | ||
測(cè)力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 0.75mN (固定) | |||
跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據(jù)表面粗糙度) | |||
測(cè)針針尖形狀 | 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | ||
標(biāo)準(zhǔn)球頭測(cè)針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 | |||
2倍測(cè)針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | |||
2倍測(cè)針 | — | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 | ||
2倍球頭測(cè)針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 | |||
測(cè)針方向 | 向下 | |||
Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm | — | ||
分辨力 | 0.05 μm | |||
長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 反射型線性編碼器 | |||
驅(qū)動(dòng)速度 | CNC型 | 200mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
基座材 | 花崗巖 |
產(chǎn)品選件 |
帶十字移動(dòng)的調(diào)水平工作臺(tái) | 精密卡鉗 | V型塊 |
帶夾鉗的V型塊 | 調(diào)心快速卡盤(滾花環(huán)固定) | 微型快速卡盤 |
旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)θ1 軸工作臺(tái) | 潤(rùn)滑油 | 旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)θ2軸組件 |
數(shù)據(jù)處理軟件 |
測(cè)量控制 僅單次測(cè)量時(shí)有單獨(dú)模式、建立工件測(cè)量程序,對(duì)同一工件進(jìn)行多個(gè)測(cè)量時(shí)有學(xué)習(xí)模式,具備多用途的可選模式。針對(duì)CV-4500 系列的上下兩面連續(xù)測(cè)量和測(cè)力可變等新功能(詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)參見P1),提高了使用方便性。 | 按鈕編輯功能 任何暫時(shí)不用的按鈕或顯示域可以出現(xiàn)也可以人為地將其隱藏起來,以便使操作者依照方便與否自行規(guī)劃屏幕。 |
標(biāo)準(zhǔn)配備輪廓比對(duì)功能 標(biāo)準(zhǔn)配備讓設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)坐標(biāo)移動(dòng)到位置的擬合功能。檢驗(yàn)結(jié)果不于可視化圖像顯示,還可以顯示各坐標(biāo)上的誤差量、誤差量展開。由于可以輸出文本文件格式,也可以用在向加工機(jī)的反饋數(shù)據(jù)等。 | 簡(jiǎn)單間距計(jì)算功能 螺紋的間距、圓之間的間隔(圓心間距) 等多個(gè)同一形狀的間距分析,只需要操作鼠標(biāo)范圍便可簡(jiǎn)單地進(jìn)行分析,能有效提高分析效率。 |