多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器,對(duì)測(cè)量薄膜厚度,折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)
l 超高精度和穩(wěn)定性,來(lái)源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測(cè)器
l 高精度樣品校準(zhǔn),使用光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡和顯微鏡
l 快速簡(jiǎn)易測(cè)量,可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度
l 多角度測(cè)量,可支持復(fù)雜應(yīng)用和精確厚度
l 全面的預(yù)設(shè)應(yīng)用,包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
l 激光波長(zhǎng)632.8 nm
l 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái)
l 入射角度可調(diào),步進(jìn)5º
l 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡,用于樣品校準(zhǔn)
l Small footprint
l 以太網(wǎng)接口連接到PC