產(chǎn)品簡(jiǎn)介:小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng),輸入的兩種不同氣體通過(guò)調(diào)節(jié)壓力和流量,即可輸出一種較準(zhǔn)確的混合性氣體,可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、小型PECVD系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào) | 小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F |
主要特點(diǎn) | 1、采用SS304精密不銹鋼針閥。 2、采用1/4″管徑不銹鋼或聚四氟乙烯管。 3、無(wú)需外接電源。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、浮子流量計(jì):10-100ml/min,兩個(gè) 2、壓力表:-0.1-1.0MPa(0.01MPa/grid),三個(gè) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:340mm×300mm×180mm;重量:6.35kg |