SID4 R-CUBE 為一臺集成式照明模塊,可配合SID4系列波前位相傳感器構成雙光路光學元件測試系統(tǒng)。SID4 R-CUBE提供高品質的準直光源照明(可選擇透鏡構成匯聚/發(fā)散光源),并可直接連接至SID4系列傳感器??捎糜诖罂趶狡矫婕扒骁R片,透鏡組件的測試及校準。
照明及光路組件SID4 R-CUBE主要特征:
l <20nm rms 精度
l <2nm rms 分辨率
l 震動不敏感
l 緊湊尺寸
l 用戶可選照明波長
l 與平移臺/ 旋轉臺/ 傾斜臺兼容
照明及光路組件SID4 R-CUBE主要參數:
兼容傳感器 | SID4, SID4 HR, SID4 SWIR |
光束直徑 | 與傳感器入瞳直徑匹配 |
光源波長 | 635,780,808,1064,1550,1650nm可選 |
光源質量 | <20nm rms (635 - 808nm) <30nm rms (1064 - 1650nm) |
雙光路參考鏡片質量 | λ/20 P-V (633nm) |
位相分辨率(噪聲) | <2nm rms |
測試方法圖示:
l 用于自適應光學中消除分析臂的望遠鏡像差
1:SID4 位相傳感器;2:SID4 R-CUBE模塊;3:擴束望遠鏡。
l 大口徑平面鏡測試
l 雙光路鏡頭品質測試:鏡頭,物鏡,望遠鏡...任意尺寸與放大率
l 凹面鏡測試
圖例:1. SID4 波前傳感器;2. SID4 R-CUBE照明模塊;3. 望遠鏡/ 擴束鏡;4. 待測(平)表面;5. 待測光學元件;6. 參考凹面鏡;7. 物鏡(光束變換用);8. 待測凹面鏡