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WGL光電輪廓儀的產品介紹儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;應用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質量;用低壓電源代替高壓電源,節(jié)省了儀器成本;用國產的代替德國進口壓電陶瓷,解決了關鍵部件的進口難題;增加了自動步距和亮度校正程序,同時增加了局部放大三維立體圖功能;
WGL光電輪廓儀的參數(shù)表面微觀不平深度測量范圍:130?1nm 測量的重復性:sRa≤0.5nm 測量精度:8nm 物鏡倍率:40X 數(shù)值孔徑:0.65 儀器視場 目視:f0.25mm 攝象:0.13X0.13mm儀器放大倍數(shù) 目視:500X 攝象(計算機屏幕觀察):2500X 接收器測量列陣:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2?m
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