型號:GSL-1700X-III-F3LV
產(chǎn)品概述:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
爐體結(jié)構(gòu) | · 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,減少能量損失 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制 |
功率 | 9 KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱區(qū) |
· 總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm) · 加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃ · 升溫速率: 10°C/min · 加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,溫度可達(dá)1700℃ · 升溫速率: 5°C/min · 加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃ 升溫速率: 10°C/min
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爐管和法蘭尺寸 | · 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube · (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L · (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L · 一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表 儀器中包括4個氧化鋁管堵 |
溫控系統(tǒng) | · 3個溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫 控溫儀表操作視頻 |
控溫精確度 | +/-1°C |
低真空系統(tǒng) | · 采用雙旋機械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr. 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接 |
防腐型數(shù)字真空計 | · 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細(xì)介紹) · |
三路浮子混氣系統(tǒng) | · 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. · 一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥 |
尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證 | · 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified |