2207型表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo):
1.測(cè)量原理:垂直方向:觸針?lè)?,電感傳感器?/p>
水平方向:光柵傳感器;
2.測(cè)量范圍:垂直400μm,水平100mm;
3.表面粗糙度示值誤差:≤±5%;
輪廓度示值誤差:垂直≤0.25%,水平≤0.004%;
4.最小分辨力:垂直0.6 nm,水平1μm;
5.取樣長(zhǎng)度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;
6. 評(píng)定長(zhǎng)度:N倍取樣長(zhǎng)度,N=1,2,3,4,5;
7. 數(shù)字濾波器:高斯、2RC、PC、不濾波;
8.粗糙度測(cè)量參數(shù):Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
波紋度測(cè)量參數(shù):Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
原始輪廓測(cè)量參數(shù):Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
直線度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量參數(shù):|X2-X1|,|Y2-Y1|;
9.輪廓圖形的垂直放大倍率:100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大;
輪廓圖形的水平放大倍率:50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大;
10.驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度:100mm;
11.驅(qū)動(dòng)速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1.0mm/s;
返回速度:1.5mm/s;
12.傳感器返回形式:手動(dòng),自動(dòng);
13.基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性:1μm/100mm;
14.傳感器測(cè)針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm;
15.立柱結(jié)構(gòu):快慢速機(jī)動(dòng)升降系統(tǒng),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位;
16.立柱垂直測(cè)量高度:290mm;
17.工作底臺(tái):460mm×620mm大理石平臺(tái);