主要參數(shù)
MPT-3JN/RL010 | MPT-3JN/RL025 | MPT-3JN/RL050 | |
運動自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | Z,θx,θy |
轉(zhuǎn)角范圍(mrad±10%) | ± 0.4 | ± 0.8 | ± 1.0 |
位移范圍(μm±10%) | 10 | 25 | 50 |
位移分辨率(nm) | 0.2 | 0.4 | 0.5 |
重復定位精度(nm) | -/2 | -/4 | -/5 |
角位移分辨率(μrad) | 0.4 | 0.8 | 1 |
角重復定位精度(μrad) | -/4 | -/8 | -/10 |
負載(Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
固有頻率(Hz) | 1000 | 1000 | 800 |
重量(g±5%) | 250 | 400 | 550 |
工作電壓(V) | 0-150 | 0-150 | 0-150 |
工作溫度范圍(℃) | -20~80 | -20~80 | -20~80 |
外型尺寸 A(mm) | 60 | 80 | 100 |
外型尺寸 B(mm) | 52 | 52 | 52 |
外型尺寸 C(mm) | 50 | 50 | 50 |
模型下載 | IGS | IGS | IGS |
開環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500 ;閉環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:PPC-2CR0150