主要參數(shù)
型號 | MPT-6JN/RL050 |
運動自由度 | X,Y,Z ;θx,θy,θz |
行程范圍(μm±20%) | 50,50,30 |
轉(zhuǎn)角范圍 (mrad±20%) | 0.6,0.6,1 |
位移分辨率 (nm) | 0.6,0.6,1 |
重復定位精度 (nm) | -/50,-/50,-/30 |
運動方向上剛度(N/μm±20%) | 50 |
負載 (Kg) | 5 |
固有頻率 (Hz±20%) | 1500 |
工作溫度范圍 (℃) | -20 ~ 80 |
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開環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:PPC-2CR0150