thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5
納米爐模型。 BWS-納米
【熱水熱CVD設備】小型高性能CVD設備是基礎研究的理想選擇
石墨烯、碳納米管
氧化鋅納米線
絕緣膜,如SiO2等
此外,它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。
特征
緊湊的系統(tǒng)可實現(xiàn)高質量的薄膜沉積實驗
熱水式反應管內部均勻加熱
4 個系統(tǒng)(用于 CH4、Ar、H2、起泡器) MFC 高精度流量控制:精度±1% F.S.
帶電容壓力計的高精度APC壓力控制
通過可選的實驗室視圖軟件進行遠程控制,數(shù)據(jù)分析
thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5
原理圖規(guī)格
石英爐芯管尺寸 | Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12” |
樣本量 | 10 x 10毫米(2.5英寸)、100 x 100毫米(4英寸) |
溫度控制 | PID編程溫度控制器 |
爐壓控制 | APC自動壓力控制 |
極限壓力 | 5 x 10-3 托 |
真空計 | 食人魚計,電容壓力計 |
真空泵 | 旋轉泵 |
質量流量控制器 | 0-50SCCM(CH4) |
0-500sccm(Ar) | |
0-1000sccm(H2) | |
0-50sccm(用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體) |