激光清洗技術(shù)是指利用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、銹斑或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離,高速有效地清除清潔對(duì)象表面附著物或表面涂層,從而達(dá)到潔凈的工藝過(guò)程。它是基于激光與物質(zhì)相互作用效應(yīng)的一項(xiàng)新技術(shù),與傳統(tǒng)的機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機(jī)溶劑,無(wú)污染,無(wú)噪聲,對(duì)人體和環(huán)境無(wú)害,是一種“綠色”清洗技術(shù)。
激光清洗與機(jī)械磨擦清洗、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比,有明顯的優(yōu)點(diǎn)。它高效、快捷、成本低,對(duì)基片產(chǎn)生的熱負(fù)荷和機(jī)械負(fù)荷小,清洗為非損傷;廢物可回收,無(wú)環(huán)境污染;安全可靠,不損害操作人員健康;可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層;清潔過(guò)程易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離遙控清洗等。
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
激光平均功率 | 100-1000 W |
激光器類型 | 光纖激光器 |
功率調(diào)節(jié)范圍(%) | 10-100(漸變可調(diào)) |
聚焦光斑直徑(mm) | 0.08/0.06 |
激光波長(zhǎng)(nm) | 1064 |
重復(fù)頻率(KHz) | 10-50(漸變可調(diào)) |
單脈沖能量(mJ) | 10.00 |
峰值功率值(KW) | 100 |
光斑直徑(mm) | 6-7 |
脈沖強(qiáng)度(Watt/m2) | 0.10 |
清洗效率(m3/h) | 5 |
焦距(mm) | 210/160可更換 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷/水冷 |