產(chǎn)品概述

       采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

       該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，不用溫度壓力補償。

產(chǎn)品特點

1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度提升。

3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。

4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍提高。

5、機電—體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準確。

5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到小化。

6、采用MF傳感技術(shù)，使流量計工作穩(wěn)定。

7、零點自校功能，測量準確。

8、多種氣體實際標定，全量程補償。

9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。  

10、規(guī)格全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。

11、精度等級高。

12、流量計報警功能，使監(jiān)控可靠。

13、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。

      14、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的選擇。

產(chǎn)品參數(shù)

測量介質(zhì)：各氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

流量范圍：  DN3 10-100ml/min  

            100-1000ml/min

            DN4   250-2500ml/min

            DN6   1000-10000ml/min

            DN8   1500-15000ml/min

            DN10  2500-25000ml/min   

            DN18   10-100SLM       

            注：(a)以上 流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

(b)以上 流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。

(c) 每個口徑量程范圍均可擴大

(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定

2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。 

服務(wù)介紹

1、對本公司產(chǎn)品實行負責制，提供技術(shù)支持和技術(shù)服務(wù)；

2、對產(chǎn)品質(zhì)量實行三包，質(zhì)保期3年；

3、免費對用戶的工程技術(shù)人員就產(chǎn)品的使用、維護及一般的故障處理等方面進行培訓；

4、指導客戶安裝調(diào)試；

5、定期對用戶進行回訪和技術(shù)交流；

6、優(yōu)先對項目用戶提供產(chǎn)品和技術(shù)交流；

7、免費提供產(chǎn)品資料和說明書。