微波等離子清洗機實現(xiàn)清潔、活化去膠、刻蝕功效
臺式微波等離子去膠機采用高密度2.45GHZ微波等離子技術(shù),用于集成電路、半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔去膠、硅片去除污染物和氧化物、提高粘接率,微波等離子體清洗、去膠機能夠?qū)ξ⒖?、狹縫等細小的空間進行處理,具有高度活性、效率高,且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。 通過工藝驗證,微波等離子清洗機降低了接觸角度,提高了引線鍵合強度。
微波等離子清洗設(shè)備去膠機的相關(guān)應(yīng)用
等離子清洗機器的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光致抗蝕劑/聚合物剝離、芯片碰撞、靜電消除、介質(zhì)蝕刻、有機污染去除、芯片減壓等。使用等離子清洗機不僅能去除光致抗蝕劑和其他有機物質(zhì),而且可以活化和增厚芯片表面,提高芯片表面的潤濕性,使芯片表面更有粘合力。
微波等離子清洗機在半導(dǎo)體封裝工藝中的應(yīng)用:1. 防止包封分層2. 提高焊線質(zhì)量3. 增加鍵合強度4. 提高可靠性,尤其是多接口的高級封裝
為何選擇我們生產(chǎn)的微波等離子清洗設(shè)備去膠機?
專注研發(fā)、制造、生產(chǎn)各種規(guī)格等離子清洗機20多年,合作企業(yè)涵蓋半導(dǎo)體、電子、光電、紡織、塑膠、汽車、塑膠、生物、醫(yī)療、印刷、家電、日用品及環(huán)保等眾多行業(yè),服務(wù)過300+優(yōu)質(zhì)客戶
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