品牌:日本TAITEC
氟作為專用熱媒、控制循環(huán)裝置加熱溫度窗體底端
窗體頂端
主要用途
●半導(dǎo)體制造裝置的加熱溫度控制
●化學(xué)制品的生產(chǎn)系統(tǒng)加熱溫度控制
主要特點(diǎn)
氟作為專用熱媒,控制高溫度領(lǐng)域
氟作為熱媒介專用設(shè)計(jì),可在+70℃~+200℃的高溫度內(nèi)準(zhǔn)確的控制加熱溫度(冷卻用途不能使用)。
無(wú)液漏之憂的泵,通過逆變器進(jìn)行控制
使用了磁鐵耦合型密封泵,無(wú)液體泄漏。
可短時(shí)間內(nèi)降溫
冷卻線圈中一次冷卻水在循環(huán)時(shí),維修保養(yǎng)時(shí)可在短時(shí)間降低溫度。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | TEX-25A |
使用溫度范圍 | +70℃~+200℃ |
溫度調(diào)節(jié)精度 | PID控制、±2.0℃(*1) |
功率輸出 | 2.5kW |
泵能力 | 流量:10L/min(0.2MPa、60Hz時(shí)) 功率輸出:0.75kW |
升溫/降溫時(shí)間 | 升溫時(shí)間(+70℃→+200℃):約30分(冷卻水OFF) 降溫時(shí)間(+200℃→+70℃):約25分(冷卻水ON) 冷卻水條件:約8L/min at +20℃(*2) |
安全器/安全功能 | 漏電斷路器、高溫、溫度異常、防止空燒、液面上限、泵超負(fù)荷 |
輸入/輸出功能 | 遠(yuǎn)程信號(hào)輸入、加熱器ON/OFF輸入、冷卻水ON/OFF輸入、溫度監(jiān)視器信號(hào)輸出、安全器操作信號(hào)外部輸出 |
適用熱媒體(循環(huán)液) | GALDEN HT270 |
循環(huán)液罐容量 | 約3L(+備用罐:約7L) |
配管連接口徑(循環(huán)液出入口、一次冷卻水出入口) | Rc1/2、Rc1/2 |
外形尺寸 | 405×692×811Hmm |
重量 | 約80kg |
電源 | 三相AC200V?50/60Hz?15A |
運(yùn)轉(zhuǎn)電流 | 12A |
(*2)裝置單體無(wú)負(fù)荷情況下。
●本產(chǎn)品使用環(huán)境溫度范圍為+7℃~+35℃。
●本機(jī)為大型、重量機(jī)器,運(yùn)送、安裝等費(fèi)用需另付。