SMX-ILH的熱屏蔽技術(shù)可使熱基板在高達(dá)300?C下實(shí)時(shí)進(jìn)行X射線熒光數(shù)據(jù)采集,減少面板的停留時(shí)間,提高加工能力。由于采用一個(gè)專門設(shè)計(jì)的Z軸高度調(diào)節(jié)功能裝置,該系統(tǒng)能夠適應(yīng)大型面板中經(jīng)常出現(xiàn)的平面性差異(弓起和卷曲)等問(wèn)題,從而進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和結(jié)果,尤其是在較高的溫度下。
- 成分和層厚分析
- 材料選擇,薄層配方
- 在線及離線過(guò)程控制
- 良率管理
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 光伏制造過(guò)程
- 微電子制造
- 防腐蝕涂層
- 熱障涂層
- 能源(CIGS, CIS,電池)