泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術(shù)參數(shù)
類(lèi)型: CCI 干涉(相干相關(guān)干涉)
分辨率: 0.1 A
測(cè)量點(diǎn)數(shù): 1,048,576 ( 1024 x 1024 點(diǎn)陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點(diǎn)
- 相干相關(guān)算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒測(cè)量時(shí)間
- RMS重復(fù)性:0.03A
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