工作原理介紹
利用化學反應、復分解反應等基本原理,與各種廢氣產(chǎn)生化學反應,生成穩(wěn)定的無毒無害的化合物或者復合物,可直接用于修路、垃圾填埋等,不會產(chǎn)生二次污染。
工藝流程
半導體行業(yè)的含砷廢氣從機臺端單獨收集,形成獨立的系統(tǒng),砷烷磷烷的處理系統(tǒng)主要分為兩個部分,d一階段為Local Scrubber,即本地的干式吸附裝置,采用的原理也是化學吸附,目前隨著國j及各地區(qū)環(huán)保排放標準日驅嚴格,在含砷系統(tǒng)的Local Scrubber的基礎上匯集到屋面時會在Central端再次進行干式吸附,使用的設備稱為砷磷烷吸附塔,一般砷磷烷吸附塔也會配置一用一備模式,吸附后通過末端風機負壓達標排放。
內(nèi)部結構
砷磷烷也可以稱含砷廢氣吸附裝置,一般也可分為立式和臥式兩種結構,如上述內(nèi)部結構圖,立式吸附塔側進上出,臥式吸附塔側進側出,分為初效吸附劑和主反應藥劑兩個部分,砷磷烷的關鍵點就在于吸附劑的選擇和使用。
設計條件
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廢氣風量
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進氣中成分及各成分占比
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進氣種含砷烷、磷烷及其他特氣的濃度
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進氣溫度、濕度情況
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運行要求,24h連續(xù)運行或間歇運行
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安裝位置環(huán)境
價格標準
在砷磷烷吸附塔進行報價的過程中,要先要根據(jù)現(xiàn)場實際需求進行選型設計,選型主要是參照上述描述的設計條件,z終根據(jù)現(xiàn)場空間設計出砷磷烷吸附塔的圖紙及吸附劑用量,核算出合理的市場價格。
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