美國(guó) Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機(jī)
技術(shù)參數(shù):
1.整機(jī)規(guī)格:500×300×300(長(zhǎng)×寬×高)mm
2.整機(jī)重量:35 Kg
3.清洗艙規(guī)格:Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積: L
5.輸入電源:220 V/50 Hz
6.整機(jī)輸入功率:400 W
7.射頻輸出:0~150 W(連續(xù)可調(diào))
8.射頻頻率: MHz
9.數(shù)字式定時(shí)器范圍:0~ min
10.極限真空度:60 Pa
11.二路浮子流量計(jì):~/min量程,方便二種氣體按比例混合
12.觀察窗:觀察清洗倉(cāng)內(nèi)輝光狀態(tài)
13.常用工作氣體:空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w
型單相真空泵