Park NX-TSH
Park NX-TSH的全自動特點(diǎn):
? 可靈活掌握自動,半自動和手動模式
? 為每個自動化程序提供可編輯測量方法
? 實(shí)時監(jiān)控測量過程
? 自動分析獲取測量數(shù)據(jù)
- 自動換針器(ATX)
ATX通過模式識別自動定位探針,并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術(shù)自動對準(zhǔn)。
-電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
Park創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡,因此可以創(chuàng)建一個極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境,幾乎不污染周圍區(qū)域,并且將在樣品處理過程中產(chǎn)品意外靜電的風(fēng)險降至。
Park NX-TSH技術(shù)參數(shù):
*本技術(shù)參數(shù)是可定制的。可咨詢Park原子力顯微鏡,以獲取更多信息。
系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
樣品尺寸: 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg
電動式X方向載物臺:行程可達(dá)625 mm,±3 μm分辨率
電動式Y(jié)方向載物臺:行程可達(dá)525 mm,±3 μm分辨率
電動式Z方向載物臺:Z軸移動距離為25 mm, μm分辨率,重復(fù)性
電動式對焦臺:Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm
COGNEX圖案識別:圖案校對分辨率為1/4像素
掃描器性能:
XY掃描范圍:100 μm ×100 μm
XY分辨率: nm
Z掃描范圍:15 μm
Z分辨率: nm
AFM和XY移動平臺控制器
ADC:18個頻道,4個高速通道,X,Y和Z位置傳感器(24-位ADC)
DAC: 12個頻道,2個高速DAC通道,X,Y和Z的定位(20-bit DAC)
合規(guī)
CE認(rèn)證:SEMI S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)施要求
待機(jī)室溫:10°C?40°C
工作室溫:18°C?24°C
濕度:30%至60%(不凝結(jié))
地板振動要求:VC-E(3微米/秒)
噪音:低于65 dB
氣動式:真空度:-80 kPa
CDA(或N2): Mpa
電源額定值:208V-240 V,單相,17 A()
總耗電量:咨詢Park原子力顯微鏡
接地電阻:低于100歐姆