美國(guó)Harrick PDC-002 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)
基本參數(shù):
主要特征:
臺(tái)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊精致
低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率,可為30W
設(shè)備輻射小,安全環(huán)保
· 外形尺寸:11"H x 18"W x 9"D(279mm x 457mm x 228mm)
· 重量:
· 輸入電源:220 V / 50Hz
· 輸入功率:200 W
· 常用工作氣體:
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
· 功率檔:
低檔716V DC、10mA DC、
中檔720V DC、15mA DC、
高檔740V DC、40mA DC、
· 基本配置:
直徑6英寸,長(zhǎng)英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
為30W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥
· 選配件:
石英等離子清洗艙
石英托盤(用于放置樣品)
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM
· 周邊設(shè)備:
基本型專用真空泵(PDC-VPE-2)
可選件:
· 選件一:氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介:
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)( SCFH & SCFH)
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體:空氣、氮?dú)?、氬氣或混合氣體。
7、尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào):PDC-FMG-2
· 選件二:真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小 m3/hr ( cfm),壓力為200 mTorr ( mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): / m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)): mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開):23 mTorr
電機(jī)功率:(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
· 選件三:石英等離子清洗艙及托盤