美國PIE等離子清洗機 基本型等離子 等離子體表面處理 擴展型等離子清洗機
一、美國PIE等離子清洗機應(yīng)用
等離子清洗機清除樣品表面的污染物,去除光阻膠:產(chǎn)生表面活性功能組;
清洗提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;
表面活化:渲染表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預(yù)處理
表面聚合:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;
表面改性:在材料表面產(chǎn)生官能分子團,高分子材料表面修飾;
去除表面殘留微生物,科研的消毒和
二、美國PIE等離子清洗機的特點
1、高頻射頻發(fā)生器;
2、7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;
3、標配75W版本,可選150W版本;
4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三、美國PIE等離子清洗機技術(shù)參數(shù)
1、控制系統(tǒng)
1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。
2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。
2、反應(yīng)腔體
1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;
2)腔體容積:;
3)腔體尺寸:內(nèi)徑:110毫米,深度:280毫米。
3、射頻電源
1)射頻頻率:;
2)射頻功率:標配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選0~150W
4、等離子源
1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2)外置電極設(shè)計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC;
2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量;
3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。