IoN 40等離子清洗機(jī)是為實驗室和生產(chǎn)領(lǐng)域涉及的全功能的等離子表面處理設(shè)備。該設(shè)備外觀簡潔、高度集成化,可應(yīng)用在半導(dǎo)體、醫(yī)療診斷、光學(xué)、電子等領(lǐng)域?qū)Ω鞣N材料的表面進(jìn)行去膠、清潔、化學(xué)修飾或涂層沉積。
規(guī)格參數(shù)
工作腔室材料: 鋁
容積: 升
內(nèi)部尺寸: 229 x 330 x 483 mm
可選電極
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級等離子體電極
工藝氣體
質(zhì)量流量控制計: 最多至6路氣體
工藝壓力: 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間: 大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣: 可調(diào)
射頻發(fā)生器: 風(fēng)冷,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源: 220V 單相, KW, 50Hz
工藝氣體: 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體: 輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣: 輸入壓力 4-6 bar
尺寸: 寬/高/深 775 x 723 x 781 mm(不含泵)
重量: 約157千克(不含泵)
可選項
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器
● 300 瓦 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 單體處理裝置
● 真空泵(油泵或干泵)
● 氣相MFC
功能特性:
● 靈活的電極設(shè)計保證了工藝的均勻性
● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計算機(jī)控制
● 觸摸屏操作,圖形用戶界面(GUI)
● 菜單驅(qū)動式工藝過程
● 繪圖和自診斷功能
● 以太網(wǎng)通訊功能
● 節(jié)能模式
● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
● 安裝簡單快捷