1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:110mm
3.樣品臺(tái)(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 2×10-1—8×10-2 mbar
5.離子電流表:電流:50mA
6.計(jì)時(shí)器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間
7.電壓:-1600DVC
8.機(jī)械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣
10.真空氣閥: 配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
,可連接φ4×2.5mm軟管