簡介

PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉儀的另一個型號，有助于提高大口徑光學(xué)元件面形測量的分辨率，適合數(shù)字加工以及高分辨系統(tǒng)的裝調(diào)。

PhaseCam6110 ，采用光源與干涉儀分離的設(shè)計，主機(jī)尺寸較小，同樣配有專用調(diào)整架，易于安裝定位，便于五維調(diào)整，是凹面望遠(yuǎn)鏡、透鏡、離軸三反系統(tǒng)、卡式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)、長焦距平行光管、低溫光學(xué)真空實驗等測量的理想儀器。

基于PhaseCam6110，衍生出了多種波長的干涉儀，目前可提供的波長為但不限于1053nm, 1064nm, 1300nm, 1550nm.

PhaseCam6110的尺寸比PhaseCam6010稍大，具有更好的維護(hù)性。

常規(guī)屬性

系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀

采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式

核心技術(shù)：相移干涉技術(shù)（PSI）

光源：穩(wěn)頻HeNe@；可選波長 532nm

相干長度 gt;100m

光束直徑：7mm

偏振態(tài)：圓偏光

相機(jī)像素：2000×2000pixels， 12bit

外形尺寸：測量頭：
激光器： x x cm

重量： 測量頭：
激光器：

系統(tǒng)性能

采集速率 gt;10幀/秒 （實時顯示）

>15幀/秒 (后處理）

最小曝光時間：35微秒

樣品反射率：1-99% （無需衰減）

RMS重復(fù)性：
RMS精度：


*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果

配置選項

擴(kuò)束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm

球面擴(kuò)束鏡頭：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50

反射參考鏡： ， ， ，