高純氫超純氫分析氦離子化氣相色譜儀
PDHID氦離子化氣相色譜儀工業(yè)發(fā)展推動(dòng)了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展,對(duì)高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了,提升的不僅僅是用量,質(zhì)量要求也更加緊迫。氣體提純工藝和檢測成為了各大氣體生產(chǎn)單位需要緊迫解決的問題。對(duì)于氣體的檢測也隨著工業(yè)需求在逐步的向前推進(jìn),氦離子化檢測器也越來越普遍地被應(yīng)用在高純氣、電子氣中痕量雜質(zhì)的檢測。高純氫 氦離子化氣相色譜儀是一款針對(duì)高純氣、超純氣和電子氣分析的儀器。
高純氫氦離子化氣相色譜儀是一款采用高靈敏度的氦離子檢測器進(jìn)行氣體痕量雜質(zhì)分析的氣相色譜儀,適用于氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中的雜質(zhì)分析。
采用原裝的進(jìn)口氦離子化檢測器和自動(dòng)切換閥的配合建立完整的分析流程,一次進(jìn)樣可完成常規(guī)雜質(zhì)的分離和檢測。將整個(gè)分析流程中可能出現(xiàn)的死體積控制到小,從而排除掉殘留氣體對(duì)分析的干擾,提高檢測的真實(shí)度。
自主研發(fā)的閥柱一體化加熱裝置,能夠減少閥與柱的連接管道,減少死體積,增加靈敏度與減少吹掃時(shí)間,檢測限可達(dá)ppb級(jí)。
壓力感應(yīng)自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng),自動(dòng)化程度更高。能夠簡化進(jìn)樣操作流程,并減少人員對(duì)進(jìn)樣誤差。
適用于分析標(biāo)準(zhǔn)
GB/T3634.2-2011 《純氫、高純氫和超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 4844-2011《純氦、高純氦和超純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
GB/T 23938-2009 《高純二氧化碳》 GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測定》
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》 GB/T 24469-2009《電子工業(yè)用氣體 5NHCL》
GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 PH》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
GB/T18867-2014《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
GB/T 28726-2012 《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》
檢測種類和檢測限:
PDHID對(duì)部分雜質(zhì)的檢測限(ppb)
雜質(zhì)種類
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
檢測限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |
儀器特點(diǎn)
高靈敏的氦離子化檢測器(PDHID)
系統(tǒng)配備氦離子化檢測器(PDHID),對(duì)H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常規(guī)雜質(zhì)均有很高的線性響應(yīng)。這款檢測器是一種靈敏度高通用型檢測器,對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合高純氣體的分析,是能夠檢測至ng/g(ppb) 級(jí)的檢測器。新制定的大多數(shù)氣體產(chǎn)品的國家標(biāo)準(zhǔn)中都規(guī)定采用氦離子化檢測器代替原有的熱導(dǎo)等檢測器,這大大提高了氣體產(chǎn)品的分析能力。
采用中心切割技術(shù),實(shí)現(xiàn)儀器的高度自動(dòng)化
采用VICI公司生產(chǎn)的吹掃型自動(dòng)十通閥完成中心切割與反吹技術(shù),配合吹掃型自動(dòng)六通閥,一次進(jìn)樣即可完成復(fù)雜樣品的分離、選擇、檢測。使樣品經(jīng)過不同條件的色譜柱進(jìn)行有效的分離,通過工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制吹掃閥的進(jìn)樣、切割、選柱與反吹等過程。
多柱箱系統(tǒng)
系統(tǒng)配置多個(gè)獨(dú)立柱箱控溫單元,采用一個(gè)主柱箱,多個(gè)輔助柱箱對(duì)不同色譜柱進(jìn)行獨(dú)立控溫。使不同的色譜柱在不同柱箱中分離樣品、單獨(dú)活化,避免在檢測和維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問題。
氦氣純化器:
HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器,其純化基質(zhì)是一種無揮發(fā)性的吸附性合金,吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化,活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成,這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散,防止氧氣純化層的形成,又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性,包括兩個(gè)溫度控制范圍。
無死體積的減壓閥和取樣閥,防止氣體殘留造成的分析干擾
載氣減壓閥采用具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥,大大提高了壓力穩(wěn)定性,確?;€的穩(wěn)定,同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積。
樣品取樣采用無死體積的取樣閥,采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式,有效的避免了空氣殘留的問題,將取樣過程對(duì)分析的影響降至低的水平。
數(shù)字化電子調(diào)零技術(shù),增強(qiáng)儀器的抗干擾能力
檢測器信號(hào)調(diào)零采用電子調(diào)零技術(shù),利用高精度數(shù)字電路進(jìn)行基流補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)輸出信號(hào)電平的電子調(diào)節(jié),減小了寄生參數(shù),因而具有較強(qiáng)的抗干擾能力。
自動(dòng)斷氣保護(hù)功能,保障檢測器的安全運(yùn)行
具有智能的斷氣保護(hù)功能,當(dāng)載氣壓力小于安全閾值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷檢測器電壓,并色譜儀自動(dòng)降溫,以保護(hù)檢測器及色譜柱不受到損壞。
技術(shù)指標(biāo)
氦離子化檢測器(PDHID):
放電模式:脈沖放電
基線噪聲:≤0.1mv
基線漂移:≤0.5mv/30min
檢測限:≤1.0×10-11g/ml
氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
溫控指標(biāo):
控溫范圍:室溫上4℃-450℃
控溫精度:±0.01℃
溫控區(qū)域:8路
程序升溫階數(shù):8階
程序升溫速率:120℃/min
檢測器:室溫上4℃-450℃ 精度±0.01℃
通信接口
以太網(wǎng):IEEE802.3
高純氫超純氫分析氦離子化氣相色譜儀