TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準,本儀器是一款應用于晶圓溫場均勻性實時測量校準的儀器設備,并能生成報告。
產(chǎn)品特點:
支持最多20路實時測量晶圓溫度;
溫度均勻性實時曲線圖和數(shù)值顯示;
采集數(shù)據(jù)Excel表格導出,并生成報表;
晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準報告;
可快速更換TC-wafer及自定義功能;
大屏高分辨率顯示;
數(shù)據(jù)最多采集10次/秒;
65瓦Type-C快速充電;
內(nèi)置大容量電池,使用可達4小時;
10000條數(shù)據(jù)存儲量;
支持多種傳輸方式,如U盤、藍牙、無線網(wǎng)絡;
便攜一體化設計;
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TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準 產(chǎn)品應用:
RTP設備生產(chǎn)廠家
使用RTP設備客戶
TC-wafer生產(chǎn)廠家
其他晶圓熱處理設備
產(chǎn)品參數(shù):
項目 | TC-20參數(shù) | TC-10參數(shù) |
續(xù)航 | 待機15小時、連續(xù)使用4小時 | 待機15小時、連續(xù)使用4小時 |
屏幕 | 13寸、分辨率:2880*1920 | 10寸、分辨率:1920*1280 |
數(shù)據(jù)采集速率 | 100ms ~ 450ms | 100ms ~ 450ms |
使用范圍 | 室溫~ 900℃ | 室溫~ 900℃ |
單一點位溫度偏差 | ±1.1℃/0.4% | ±1.1℃/0.4% |
晶圓尺寸 | 2吋 ~12吋 | 2吋 ~8吋 |
熱電偶測溫點數(shù) | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |