Z1量程：50mm
X軸：±(1+L/300) μm
Z1軸：±(0.8+2H/100) μm
| 測量參數(shù) | |
| 粗糙度 部分 | Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr |
| 輪廓儀 部分 | 點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離等）、點、點、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) |
| 粗糙度 測量范圍 | |
| X軸 | RA：0.005μm—16.00μm |
| Z1軸 | ±20μm、±40μm、±80μm |
| 取 樣 長 度 L | 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動 |
| 評 定 長 度 | 1L—5L(可選 L為取樣長度) |
| 測量行程長度 | 3L—7L(可選 L為取樣長度) |
| 輪廓儀 測量范圍 | |
| X軸（橫導(dǎo)軌） | 120mm |
| Z1軸（傳感器） | 50mm |
| Z軸（立柱） | 400mm |
| 粗糙度 測量精度 | |
| 示值誤差 1 | 0.001μm |
| 示值誤差 2 | ≤±7％ |
| 輪廓儀 測量精度 | |
| X軸 (L=X軸導(dǎo)軌移動距離) | ±(1+L/300)μm |
| Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) | ±(0.8+2H/100)μm |
| X軸水平臂 | |
| 直線度 | 1μm/120mm |
| 光柵分辨率 | 0.1μm |
| 光柵產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| Z1軸傳感器 | |
| 分辨率 | 0.05μm |
| 傳感器類型 | 光柵傳感器 |
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| 移動方向 | 前/后 雙方向 |
| 測力 | 0.5-6g |
| 測針針尖 | 硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 驅(qū)動行程 | |
| 驅(qū)動行程長度 | 17.5mm/0.71 inch |
| 最小驅(qū)動行程長度 | 1.3mm/0.052 inch |
| 粗糙度 速度 | |
| 測量速度 | 0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s |
| 輪廓儀 速度 | |
| 測量速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
| 定位速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
| 圖形放大/縮小 | |
| 圖形放大 | 可任意縮小、放大 |
| 綜合調(diào)整臺 | |
| 綜合調(diào)整臺 | X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30° Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置） |
| 安裝要求 | |
| 電源 | 220-240V AC, 50HZ，單獨地線；功率消耗450W |
| 壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） |
| 環(huán)境要求 | 工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源 |
