日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀
ULTRATEST™ 傳感器技
工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的“干式”標準
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空泄漏檢測的工認標準
通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟性之間提供了最加的性價比。它提供*的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點。緊湊的設(shè)計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確?？梢越?jīng)濟實惠地檢測出所有泄漏。
好處
·通過縮短抽氣時間和響應(yīng)時間加快泄漏檢測工作
·通過使用可選的背景抑制(lzero)，避免需要進行多次泄漏測試。
·通過緊湊的設(shè)計方便進入空間有限的維護區(qū)域
·通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統(tǒng)實現(xiàn)低擁有成本(TCO)
·通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應(yīng)用難度
·通過內(nèi)置泄漏測試和自動校準程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護
典型應(yīng)用
對清潔度要求嚴苛的工業(yè)真空設(shè)備制造
在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前
真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持
工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造
日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀
您的泄漏檢測解決方案專家
INFICON可為高度專業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過程提供quan球嶺先的測量和傳感器技術(shù)及過程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車生產(chǎn)等領(lǐng)域，INFICON的氣體泄漏檢測產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。
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