安全至上
高壓線多重防護；外殼良好接地；真空互鎖；系統(tǒng)
自動防護性切斷濺射；實體按鍵，安全

注重用戶體驗
5英寸液晶屏，簡潔明了;
可多設(shè)置兩個參數(shù)，即可開始工作；
系統(tǒng)自動調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動放氣；樣品臺高度可調(diào)節(jié)

信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示，簡單直觀；
靶材使用時間，儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄，直觀了解設(shè)備的運行狀態(tài)

快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時，無需培訓，即可快速熟練操作設(shè)備

主要參數(shù)

輸入電壓：AC220V±10%，50Hz
工作電壓：DC2400V
大功率：（主機與機械泵） 500W
可選靶材：金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬
真空泵：兩級直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s
真空腔：φ128×130mm
樣品杯：φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整機尺寸：（長×寬×高） 424×271×255（mm）
重量（主機）： 11 kg
工作環(huán)境：溫度 5～40℃，濕度<60%
存儲環(huán)境：溫度-10~60℃，濕度<80%
工作氣體：Air / Ar
保護功能：過流、真空雙保護