激光系統(tǒng)用于磷摻雜選擇性擴(kuò)散工藝,可支持離線或在線兩種生產(chǎn)方式;
設(shè)備空間布局緊湊,設(shè)備占地尺寸小、結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)試方便、標(biāo)準(zhǔn)化模塊設(shè)計、兼容互換性強;
可提供兩激光、三激光、四激光等多種生產(chǎn)方式,從而實現(xiàn)低產(chǎn)能至高產(chǎn)能的全面化覆蓋;
采用主機(jī)與接駁臺兩部分構(gòu)成,可實現(xiàn)人工手動上下料以及AGV自動上下料,以滿足客戶不同的上料需求;
可與現(xiàn)有市場上所有品牌的印刷機(jī)直接對接,兼容性和靈活性高;
該支持AOI檢測、硅片翻面、方阻檢測等功能擴(kuò)展;