東莞潔凈烘箱
無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
一.東莞潔凈烘箱用途:
PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二.東莞潔凈烘箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*佳溫度控制精度。
三.東莞潔凈烘箱產品技術參數(shù):
1.主要技術指標:
無塵等級:Class 100; 溫度范圍: 60~ +300℃;
溫度均勻度:200℃±4℃; 溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃; 工作尺寸:W800×D600×H1300
電源:380v , 50Hz,15KW 網(wǎng)板:2塊(高度可調節(jié))
潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟,*多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數(shù)在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。
型號 | 溫度范圍 | 內容積 | 其它參數(shù) | 內尺寸 | 外尺寸 |
PVC-178 | (RT+60)~+200℃ | 178L | 潔凈度:100級 | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
PVC-380 | (RT+60)~+200℃ | 380L | 潔凈度:100級 | 580×1130×580 | 770×1,880×1,025 |
PVC-678 | (RT+60)~+200℃ | 678L | 潔凈度:100級 | 800×1130×750 | 1,030×1,880×1,025 |
PVHC-178 | (RT+60)~+350℃ | 178L | 潔凈度:100級 | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
PVHC-380 | (RT+60)~+350℃ | 380L | 潔凈度:100級 | 580×1,130×580 | 770×1,880×1,025 |
PVHC-678 | (RT+60)~+350℃ | 678L | 潔凈度:100級 | 800×1,130×750 | 1030×1,880×1,210 |
PVHC-347MS | (RT+60)~+300℃ | 347L | 潔凈度:100級 | 580×1,130×530 | 770×1,880×1,025 |
PVHC-633MS | (RT+60~+300℃ | 633L | 潔凈度:100級 | 800×1,130×700 | 1,030×1,880×1,210 |
2、箱體結構:
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
內膽材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
中桶材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3、溫控系統(tǒng):
采用中國臺灣“宣榮”CAHO溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,**度±0.3%FS。;
訊號來源:采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
4、完善的安全保護措施:
漏電斷路器、 控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、 門面安全開關
5、選購設備(需另外收費):
可程式溫控器 無紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。
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