HORIBA S48-28氣體質量流量控制器
特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
流量范圍100L-200L/min
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑制
化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性
S48 28/HMT模擬式氣體質量流量控制器 技術參數
特點
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
流量范圍100L-200L/min
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑制
化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性
S48 28/HMT模擬式氣體質量流量控制器 技術參數
項目 | S48 28/HMT | |
流量規(guī)格 | (100,150,200)L/min | |
調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 | |
調節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 | |
安裝角度 | 任意 | |
流量控制范圍 | 5%~99% | |
流量測量范圍 | 0~99% | |
響應時間 | 2s(T98,設定值的±2% F.S.) | |
工作環(huán)境溫度 | 5℃~50℃ | |
精度保證溫度 | 15℃~35℃ | |
精度 | ±1.0%F.S. | |
線性精度 | ±0.5%F.S. | |
重復性 | ±0.2%F.S. | |
工作壓差 | (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa | |
耐壓 | 3MPa | |
泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s (He) | |
接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V,<100mA;-15V,<200mA | +24VDC(寬電壓+11~+25V), <350mA(+24VDC供電時) |
設定信號 | (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ | 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
流量輸出信號 | (0~5)VDC 負載能力≤3mA | |
電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
重量(kg) | 2.8 |