無塵烤箱，精密潔凈烘箱用途:
無塵烤箱，精密潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烤箱，精密潔凈烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高溫度控制精度。
無塵烤箱，精密潔凈烘箱技術(shù)參數(shù)：
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸：600×600×500（可定做）
電源：380v , 50Hz，10KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
潔凈度100級的潔凈熱處理，HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻
性與100級潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離。
