深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司Horiba STEC SEC-N112數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
概要
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-bbbb®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范圍控制,從微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102 系列 | 數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0~5VDC | HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標(biāo)準(zhǔn) |
SEC-N105 系列 | CC-bbbb®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-bbbb®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通訊方式 | |
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通訊方式 | 符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V |
- 高精度:±1.0% S.P. (*1)
- 1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)
- 多氣體,多量程解決方案
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體,多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
制造: HORIBA STEC