產(chǎn)品概述
IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀是同類產(chǎn)品中的高精確度高品質(zhì)臭氧分析儀的代表,它目前主要用于半導(dǎo)體、芯片、CVD,ALD等領(lǐng)域。由于它優(yōu)異的品質(zhì),使得它成為那些需要長時(shí)期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測量和工藝控制的客戶的正確選擇,長期使用的所有者成本低。是監(jiān)測氣體發(fā)生設(shè)備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測、職業(yè)衛(wèi)生和科學(xué)。
特點(diǎn)
- 微機(jī)控制
- 紫外吸收技術(shù)
- 可訂購多達(dá)5個(gè)取樣點(diǎn)
- 壓力和溫度補(bǔ)償能力
- 內(nèi)置現(xiàn)場編程,可編次序
- 定光學(xué)系統(tǒng)
- 每通道4-20mA隔離輸出
- 每通道雙報(bào)警
技術(shù)規(guī)格
- 取樣點(diǎn)數(shù)量:1,3或5個(gè)內(nèi)置式多通道閥
- 量程:0-1ppm,0-10ppm,0-100ppm, 或 0-1000ppm可選
- 精度等級:5ppb(0-1ppm量程),0.01ppm(0-10ppm量程),0.1ppm(0-100ppm量程)
- 分辨率高:0.001ppm(0-1ppm),0.01ppm(0-10ppm)
- 流量:內(nèi)置泵,流量可調(diào)(不大于2L/m)
- 輸出:模擬4~20mA,以及數(shù)字輸出
- CE認(rèn)證;內(nèi)部自檢;RS-232通訊接口