納米級(jí)高速大行程
XLS系列線性,是由超聲波驅(qū)動(dòng),可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng),速度可達(dá)到200mm/s,并且該平臺(tái)適用于掃描,可提供恒定的掃描速度,速度不穩(wěn)定性低于2%。
該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá),對(duì)于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過(guò)接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過(guò)橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng),并通過(guò)高頻率產(chǎn)生的速度,并且沒(méi)有噪聲,電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖,由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸,大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程,行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用,平臺(tái)集成不同精度的,根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類(lèi)線性平臺(tái)
1)集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp1250nm,
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 1250 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±1250 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±2500 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
2)集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp350nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 350 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±350 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±700 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp80nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 80 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±80 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±160 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp25nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 25 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±25 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±50 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
此外,由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),可以組成多維位移平臺(tái),例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。
主要特點(diǎn):
l 大行程 (100mm)
l 高精度(25nm)
l 高速度(100mm/s)
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用:
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)