主要特點(diǎn)
TriglavTM——新開發(fā)的配備TriglavTM物鏡及探測(cè)系統(tǒng)的高分辨掃描電子顯微鏡
- 的無交叉模式及超高分辨率物鏡的組合,以獲得良好的成像模式
- 可變的探測(cè)系統(tǒng)能同時(shí)獲得各種信號(hào)
- 超高納米分辨率:0.7nm@15keV
- 極限分辨率:1nm@1keV
- 角度選擇BSE探測(cè)器能在低束能下獲得的形貌及元素襯度
- 實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)TM能優(yōu)化電子束性能
- 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光學(xué)器件™設(shè)計(jì)提供各種工作和顯示模式
- EquiPower™提供了優(yōu)秀的電子束穩(wěn)定性
- 新的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能使電子束流達(dá)到400nA以及實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變
- 的探測(cè)技術(shù)可應(yīng)用于的失效分析過程中
- 易損生物樣品的成像
- 磁性樣品的成像
- 優(yōu)化的幾何鏡筒分布能夠獲得8’’晶圓分析手段(SEM探測(cè),F(xiàn)IB微加工)
- 3D電子束技術(shù)的立體成像
- 友好的用戶界面,成熟的軟件模塊和自動(dòng)化程序