分析潛力
- XM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺,的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
- 優(yōu)化幾何設(shè)計(jì)的許多接口,更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)和其他探頭
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 在渦輪分子泵和無油干式泵的工作下,幾分鐘就可以達(dá)到儀器工作需要的真空,電子槍的真空度由離子泵保持
- 在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品,觀測磁性樣品的效果非常好
- 可選樣品室大小與鏡筒防振方式
MIRA3配置
MIRA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡,配備有可選的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺,適合觀測導(dǎo)電的樣品。
MIRA3 XMU
可變真空式SEM,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品,不需要噴金。