用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

在高真空環(huán)境進(jìn)行納米測(cè)量可顯著提高數(shù)據(jù)的靈敏度和分辨率，并增強(qiáng)材料分析能力。 因?yàn)楦哒婵諕呙璀h(huán)境相比氮?dú)釴2或干燥環(huán)境條件更具有精確性和穩(wěn)定的重復(fù)性的數(shù)據(jù)，用戶可以在半導(dǎo)體材料和故障分析等應(yīng)用中測(cè)量各種摻雜濃度和反饋信號(hào)的不同響應(yīng)。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Hivac 管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上控制真空條件抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

高級(jí)自動(dòng)化特點(diǎn)

NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。

配備電控載物臺(tái)的StepScan 自動(dòng)化掃描

StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可極大地提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。

電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)

Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無(wú)需輸入即可無(wú)縫銜接自動(dòng)化測(cè)量例程。憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到位置。

提高精度和生產(chǎn)率

NX-Hivac即是精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時(shí)也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無(wú)需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測(cè)量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器功能，可準(zhǔn)確測(cè)量樣本形貌，同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子控制器

NX-Hivac的一大特點(diǎn)是NX系列電子控制器可實(shí)現(xiàn)時(shí)間浪費(fèi)最小化、精度。我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式?？刂破骶哂械驮肼曉O(shè)計(jì)和高速處理部件，是精密電壓和電流測(cè)量及納米級(jí)成像的之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn)，用戶可輕松地分析測(cè)量值和成像。

技術(shù)指標(biāo)