AREO 480 全自動(dòng)清洗機(jī),主要清洗卷式的半導(dǎo)體器件,利用溶劑加熱侵泡清洗,熱純水漂洗,噴淋漂洗,熱風(fēng)循環(huán)干燥等工藝來(lái)保證產(chǎn)品的清洗的潔凈度要求。
半導(dǎo)體清洗是指將半導(dǎo)體器件在生產(chǎn)加工過(guò)程中的污垢、油污、雜質(zhì)等有害物質(zhì)進(jìn)行清洗,以確保半導(dǎo)體器件的品質(zhì)和性能。
在半導(dǎo)體工業(yè)中,清洗過(guò)程對(duì)產(chǎn)品的成功生產(chǎn)和性能起著至關(guān)重要的作用。半導(dǎo)體清洗的主要目的是去除半導(dǎo)體器件表面和內(nèi)部的污垢和雜質(zhì),以確保產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。此外,半導(dǎo)體清洗還可以減少生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷率、提高產(chǎn)品的可靠性和壽命、降低生產(chǎn)成本。
半導(dǎo)體清洗一般采用以下幾種清洗設(shè)備:
超聲波清洗機(jī):超聲波清洗機(jī)是一種通過(guò)高頻聲波產(chǎn)生的微小氣泡來(lái)清洗半導(dǎo)體器件表面和內(nèi)部污垢的設(shè)備。其清洗效果高效且不會(huì)對(duì)器件造成損害,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域。
氣相清洗機(jī):氣相清洗機(jī)是一種采用氣體為清洗介質(zhì)的清洗設(shè)備,通常使用高純度的氫氣、氮?dú)獾?。它具有清洗速度快、無(wú)介質(zhì)殘留、適用于高精度半導(dǎo)體器件等優(yōu)點(diǎn)。