掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹
緊湊型設(shè)計，分辨率為4 nm*1
通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
新開發(fā)的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術(shù)規(guī)格
項目 內(nèi)容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）
15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）
5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓 0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率 6× ～ 300,000× （底片倍率）
16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式 真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍 預對中鎢燈絲
樣品臺 3-軸自動馬達臺
X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm
R：360°, T：-15° ～ ＋90°
樣品尺寸 直徑80 mm
樣品高度 40 mm
尺寸 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm
供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測器選配
高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）
能量分散型X線探測器（EDS）
