光束強度分析是光子學(xué)許多方面的重要工具。聚焦激光束中的精確強度分布在許多應(yīng)用中是至關(guān)重要的：流式細胞術(shù)，激光打印，醫(yī)療激光和切割激光等等許多方面。 強度輪廓分布測量可以表征和改進產(chǎn)品性能和生產(chǎn)過程，從而大大節(jié)省成本和時間，如果使用過傳統(tǒng)的激光光斑分析儀測量激光發(fā)散角以及M2值，那么您就知道該過程的耗時。 測量一次，沿z軸移動探測器，在第二個平面測量，估計焦點位置，重新調(diào)整z，再次測量......通常是一個漫長，乏味和復(fù)雜的過程。使用BeamMap2可以實時得到測量激光光束的各項參數(shù)且無需繁復(fù)的人工操作便可以得到精確的激光M2，激光發(fā)散角，激光聚焦光斑位置。
本文主要描述了BeamMap2和Beam'R2在參數(shù)和功能上的區(qū)別。功能上Beam'R2有的功能BeamMap2基本都有。同時，BeamMap2所以擁有的功能如多個z平面掃描，實時M2，指向，發(fā)散角和焦點位置測量等特點都是Beam'R2所沒有的。
獲得的BeamMap2是可商購的多平面光束質(zhì)量分析儀。 DataRay軟件中使用的BeamMap2的屏幕截圖如下所示。 在這里，您可以在四個不同的z位置看到四個同時光束輪廓。 軟件顯示該光束在X，Y和Z中正確聚焦，并且該光束的M2為1.47。
DataRay的Beam'R2非常適合于許多激光光束分析的應(yīng)用。 通過標準的2.5μm寬度大小的狹縫和更大的刀口切面，Beam'R2能夠測量直徑小至2μm的激光光束。 通過選擇硅和InGaAs或擴展的InGaAs，Beam'R2可以分析190 nm至2500 nm的光束。 Beam'R2掃描狹縫儀器提供比基于相機的系統(tǒng)更高的分辨率。DataRay的BeamMap2代表了一種不同的實時光束分析方法。 它通過允許沿光束行程的多個位置進行測量，擴展了Beam'R2的測量功能。 這種實時狹縫掃描系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個z平面中使用XY狹縫對，以同時測量四個不同z位置處的四個光束輪廓。 BeamMap2的設(shè)計于焦點位置，M2，光束發(fā)散和指向的實時測量。
DataRay狹縫式光束質(zhì)量分析儀Beam'R2和BeamMap2主要應(yīng)用：
-非常小的激光束輪廓
-光學(xué)組件和儀器對準
-OEM集成
-鏡頭焦距測試
-實時診斷聚焦和對準誤差
-將多個裝配體實時設(shè)置為相同的焦點
DataRay狹縫式光束質(zhì)量分析儀Beam'R2和BeamMap2參數(shù)規(guī)格對比
| 參數(shù) | 參數(shù)值 | BeamMap2 | Beam'R2 | Comments |
| 波長可選范圍（nm） | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500 | Yes | Yes | Si, InGaAs, Si + InGaAs, |
| 被掃描光束直徑 | 2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | Yes | Yes | Si + InGaAs, extended |
| X-Y 輪廓及中心分辨率： | 0.1 μm 或者 0.05% 的掃描范圍 | Yes | Yes |
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| 精度: | ± <2% ± ≤0.5μm | Yes | Yes |
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| CW or Pulsed | 連續(xù)/脈沖 最小PRR ≈ [500/(激光直徑um)]kHz | Yes | Yes |
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| 光束對準準直 | ± 1 mrad with BeamMap2 Colli-Mate | Yes | - |
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| M2 測量 | 1 to >20, ± 5% | Yes | - | Beam Dependent |
| 實時更新 | 5 Hz | Yes | Yes | 4 Z-plane hyperbolic fit |
| 功率＆輻照度 | 1 W Total & 0.3 mW/μm2 | Yes | Yes | Adjustable 2-12 Hz |
| 增益范圍： | 32dB | Yes | Yes | Metallic film on Sapphire slits |
Display graphics: All: X-Y position; Profiles.
BeamMap2 only: M2, Focus; Divergence, Boresight/Pointing
DataRay狹縫掃描式光束品質(zhì)分析儀Beam'R2和BeamMap2特點：
-實時二維狹縫
-分辨率高達0.1μm
-探測器選項，190 - 2500 nm
-5 Hz更新速率（用戶可調(diào)節(jié)2-12 Hz）
-ISO兼容光束直徑測量
-端口供電的USB2.0
-自動增益功能
-可選配件，適用于符合ISO 11146標準的M2測量。
-測量高重復(fù)脈沖激光
脈沖最小PRR = [500 /（光束直徑，以μm為單位）] kHz
美國DataRay掃描狹縫式光束質(zhì)量分析儀BeamMap2所特別具有的特點:
-多個z平面掃描
-使用BeamMap2-Collimate實時測量準直光束的發(fā)散度
-XYZ曲線，外加θ-Φ角度測量
-焦點位置和直徑
-實時M2，指向和發(fā)散角
-識別焦點，重復(fù)精度為±1μm（光束相關(guān)）
-可選的LensPlate2用于探測難以接近的光束束腰和重新成像的波導(dǎo)
（Optional LensPlate2 for reaching inaccessible beam waists and reimaging waveguides）
