平整度低至0.1mm 芯密度高達230kg/m3 單元尺寸小于3cm2 應用于精密電子顯微鏡的隔震臺
美國TMC設(shè)計和制造適用于納米技術(shù)領(lǐng)域的建筑地面光學減震平臺，TMC光學隔震平臺支持超精密測量、儀器和制造。TMC提供多種系列的光學減震平臺和光學面包板，包括CleanTop光學平臺性能系列，CleanTop光學平臺專業(yè)系列，用剛性聯(lián)軸器拼接光學平臺，CleanTop光學面包板，Hybrid Honeycomb面包板，此外TMC還提供光學平臺支撐系統(tǒng)，適用于CleanTop光學平臺和面包板的各種支腿系統(tǒng)。有氣動、壓電、混合隔震或無額外隔震性能的支腿可供選擇。
TMC光學平臺長期以來一直堅持光學頂部的干式阻尼優(yōu)于油基阻尼器的理念。油的特性會隨著時間的推移而改變，而隱藏的油箱總是有被最終用戶在改造系統(tǒng)時刺穿的危險。TMC光學隔震平臺的結(jié)構(gòu)共震阻尼方法一直基于“寬帶阻尼”的方法?！罢{(diào)諧阻尼”或使用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器與頂部彎曲模式異相共震是一種危險的方法。首先，它假設(shè)阻尼器可以設(shè)置為與頂部的共震頻率一致。光學頂部的共震頻率將根據(jù)負載、負載分布、溫度甚至阻尼器本身而變化。因此，在實踐中，難以將阻尼器調(diào)諧到頂部的共震。此外，它還假設(shè)，當需要注意許多二次彎曲和扭曲模式時，只有低共震頻率才需要阻尼。更重要的是，采用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器來抑制結(jié)構(gòu)共震的概念并不完善。調(diào)諧阻尼僅在阻尼離散共震時才有效，并不適合用于阻尼寬帶結(jié)構(gòu)共震。簡單來說，通過創(chuàng)建聯(lián)接的質(zhì)量系統(tǒng)，調(diào)諧阻尼器將結(jié)構(gòu)共震“分裂”成兩個共震。TMC光學減震平臺專有的寬帶阻尼技術(shù)是阻尼光學頂部的有效方法。這種方法適用于整個感興趣的頻率范圍，在頂部的主要、次要和更高的共震頻率下耗散能量。此外，增加頂部的重量不會影響性能。TMC隔震臺的光學頂部具有的保證性能水平。此外，通過三級寬帶阻尼和三種環(huán)境選擇，TMC隔震平臺在性能水平的選擇方面具有很大的靈活性。標準阻尼水平提供的順應性水平比表中的水平高四倍。建議僅對非敏感應用采用低阻尼水平。
CleanTop光學隔震平臺的主要特點：
-防溢光學頂部
-全鋼光學頂部
-無油光學頂部
-對齊到螺紋孔陣列的蜂窩芯
-帶成型孔而不是鉆孔的輕質(zhì)面包板
-與真空兼容的光學頂部
CleanTop光學減震平臺是光學頂部的另一項創(chuàng)新，TMC光學減震平臺已經(jīng)在光學頂部行業(yè)創(chuàng)下了多個“”。CleanTop的具體特點如下：
-表面的液體溢出物受到限制，無法到達頂部的蜂窩芯
-芯經(jīng)過全面的清潔和干燥，沒有殘留的螺紋切削油，從而不會釋放氣體
-極其干凈的螺紋孔使螺釘可以平穩(wěn)和輕松地插入
-可以輕松取出掉入孔中的小零件
-由于在頂部表面使用危險化學品時化學品不會滲入芯內(nèi)，因此不小心接觸芯的化學品不會對健康造成危害
CleanTop光學減震平臺的應用領(lǐng)域：
-用于電生理學、IVF和成像的工作表面可實現(xiàn)更高的分辨率和更精確的測量。
-的消震系統(tǒng)創(chuàng)造了摩爾定律所要求的更安靜環(huán)境。
-CleanTop®光學平臺可提供從干涉儀到拍瓦激光器等光學系統(tǒng)所需的超穩(wěn)定支撐。
-適用于SEM、TEM和其他帶電光束工具的完整環(huán)境解決方案。
-精確的震動控制，可實現(xiàn)精確的測量。-微電子/微機電系統(tǒng)制造
CleanTop光學隔震平臺性能系列：
TMC光學隔震臺和隔震平臺采用全鋼結(jié)構(gòu)，具有市場上比較高的芯密度和比較小的蜂窩單元面積，可提供業(yè)界的性能和剛性。CleanTop性能系列具有三個阻尼性能級別以及適用于各種應用的多種配置選項。各個光學減震平臺甚至可以機械連接，以便在不損失阻尼性能的情況下創(chuàng)建復雜的剛性工作臺形狀。
| CleanTop光學平臺性能系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 400系列3/16英寸（5毫米）厚的鐵磁不銹鋼 |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的阻尼成型鋼通道 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐。鋼杯可選。 |
CleanTop光學平臺性能系列包括三種型號系列：
研究級784系列：提供優(yōu)異的光學頂部性能，它結(jié)合了小的單元尺寸、高的芯密度、的CleanTop®設(shè)計、全鋼結(jié)構(gòu)以及市場上高水平的結(jié)構(gòu)阻尼。研究級CleanTop適用于苛刻的應用，包括干涉儀、全息和超快激光器以及嚴重的地面震動環(huán)境。為了獲得優(yōu)異的整體震動控制效果，請考慮將此頂部與LaserTable-Base™支架（混合空氣/壓電、2級消震系統(tǒng)）相結(jié)合。
科學級783系列：科學級具有與研究級相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和減少阻尼的全鋼結(jié)構(gòu)等設(shè)計特點?？茖W級阻尼的峰值順應性水平比研究級阻尼的峰值順應性水平高出4倍。
實驗室級781系列：為不太嚴重的地面震動環(huán)境中不敏感的應用提供經(jīng)濟的性能水平。實驗室級適用于需要剛性、平坦安裝表面的一般實驗室應用。
CleanTop光學平臺專業(yè)系列：
CleanTop光學平臺專業(yè)系列包括用于潔凈室的ClassOne 790系列、非磁性710系列和真空兼容730系列。
ClassOne 790系列：與所有TMC CleanTop光學平臺一樣，ClassOne具有高的芯密度和小的蜂窩單元面積。每個螺紋孔下方的單個杯子都經(jīng)過氣密處理，頂部可以防溢。ClassOne光學減震平臺有各種標準和定制尺寸以及兩種阻尼水平可供選擇。
| 用于潔凈室的ClassOne 790系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 400系列3/16英寸（5毫米）厚的鐵磁不銹鋼 |
| 側(cè)壁 | 不銹鋼與阻尼內(nèi)表面 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐。不銹鋼杯可選。 |
非磁性710系列：TMC光學減震平臺的CleanTop光學頂部采用非磁性結(jié)構(gòu)，推薦用于需要支撐高強度磁鐵或保持均勻磁場的應用。雖然不銹鋼合金不能100％非磁性，但316合金頂層、底層和內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)可顯著降低鐵磁性能。同時，側(cè)壁和杯子不含鐵。
| 非磁性710系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 316鋼合金蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 316合金不銹鋼 - 厚度為3/16英寸（5毫米） |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的復合材料側(cè)面與阻尼內(nèi)表面 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐 |
真空兼容730系列：TMC光學隔震平臺將我們固有的CleanTop®設(shè)計與幾個新專有設(shè)計特征、清潔方法以及為德克薩斯大學拍瓦激光項目開發(fā)的真空泵送程序相結(jié)合，達到了以前無法達到的真空兼容水平。
用剛性聯(lián)軸器連接光學隔震平臺：
TMC光學隔震臺通過將一個經(jīng)過精密磨削和對齊的專有接合板系統(tǒng)焊接到頂部的結(jié)構(gòu)元件上，TMC可以在隔震光學平臺之間提供剛性聯(lián)接。TMC光學平臺的工藝包括對齊技術(shù)，可確保頂部保持高平整度規(guī)格，而不會因接合板焊接到頂部的熱效應而發(fā)生變形。
拼接后，TMC光學隔震平臺就像一個整體結(jié)構(gòu)。與所有大型結(jié)構(gòu)一樣，較大拼接系統(tǒng)的行為將與單個頂部的行為不同。拼接隔震光學平臺技術(shù)確保了多個頂部之間的平整度。接合板是一組經(jīng)過精密磨削的、厚20毫米（0.75英寸）的配套鋼材，帶有一套定位銷，用于保持對齊。板沿著接合板的整個長度焊接在頂部和底部蒙皮上。在組裝完成后，用不銹鋼帶覆蓋接合板。接合板的標準材料是鋼。
許多形狀都可提供。TMC光學隔震臺通常以“端到端”配置或以“T”或“L”形狀拼接。拼接式平臺也可以配置為“邊對邊”或形狀的組合。同一厚度的隔震光學平臺可以相互拼接，甚至兩種不同厚度的工作臺也可以拼接為階梯式配置。例如，如果一個大型頂部無法裝入電梯，則可以拼接工作臺以協(xié)助安裝。
Hybrid Honeycomb隔震面包板：
TMC隔震平臺中許多超精密工具包括光學子組件。這種子組件必須安裝在剛性、平坦的阻尼表面上，以保持光學系統(tǒng)的位置穩(wěn)定性。直到現(xiàn)在，工程師都不得不在機加工鋁板和蜂窩光學面包板之間做出選擇。鋁板的優(yōu)點是可加工到精確的平整度、平行度以及孔位置的偏差較小。蜂窩面包板的優(yōu)點是可提供結(jié)構(gòu)阻尼以及更高的剛度重量比。TMC光學隔震平臺的創(chuàng)新地結(jié)合了兩者的優(yōu)點。Hybrid Honeycomb™以鋁板開始。對板進行機加工以獲得所需的特征。然后將底面加工掉，留下一個整體蜂窩圖案，以減輕結(jié)構(gòu)的重量。然后，在蜂窩單元上用環(huán)氧樹脂粘合底部蒙皮，以封閉結(jié)構(gòu)并提供額外的阻尼和剛度。Hybrid Honeycomb是光子學工具和應用中光學組件的理想選擇，它是一種工程解決方案，可根據(jù)您的需求進行配置。
| Hybrid Honeycomb面包板的規(guī)格 | |
| 頂板 | 機加工鋁 |
| 表面處理 | 透明或黑色陽極氧化 |
| 芯 | 整體到頂板。單元由一個整體結(jié)構(gòu)加工而成 |
| 底板 | 機加工鋁 |
| 平整度 | +/-0.005英寸（0.13毫米） |
| 孔圖案 | 25毫米中心的M6，1英寸中心的?-20或定制 |
| 孔 | 通過加工盲孔的過程密封 |
CleanTop光學隔震面包板：
CleanTop®鋼光學面包板可為較小的頂部提供的剛性和阻尼。這些頂部有2英寸和4英寸厚度，與我們的大型光學平臺具有相同的高性能CleanTop結(jié)構(gòu)。
TMC隔震臺的CleanTop®鋼光學面包板有三種性能級別以及一系列定制選項可供選擇。
78系列：為較小的頂部提供大的剛性和阻尼。推薦用于要求高的面包板應用。
77系列：與78系列相比，頂部蒙皮略薄，剛性和阻尼略低，但成本和重量較低。
75輕量級系列：大限度地減輕了重量和成本。這些面包板具有相對較高的剛性，因為它們使用了我們的標準鋼芯，然而，由于它們的頂部和底部蒙皮較薄，它們不具有78和77系列的剛性和阻尼特性。當預計載荷較輕和當?shù)椭亓亢?或低成本是主要考慮因素時，它們是理想的選擇。重量比78系列面包板減輕50％。
| CleanTop光學面包板的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | +/-0.005英寸（0.13毫米） |
| 頂部蒙皮 | 430系列鐵磁不銹鋼 |
| 頂部蒙皮厚度 | 78系列的3/16英寸（5毫米）。77系列的1/8英寸（3毫米）。75系列的0.075英寸（2毫米） |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的阻尼成型鋼通道 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐 |
光學平臺支撐系統(tǒng)：
TMC為我們的CleanTop隔震光學平臺和面包板提供各種各樣的支腿系統(tǒng)。
通常，TMC隔震臺和面包板放置在通過拉桿連接在一起的氣動或剛性支架上。這是TMC的Micro-g系列的支撐系統(tǒng)。對于極其敏感的應用，特別是低于5 Hz的地板震動，我們推薦使用主動壓電和混合解決方案 - STACIS III和LaserTable-Base。
Micro-g系列：Micro-g光學平臺支撐系統(tǒng)是TMC隔震光學平臺和面包板的理想選擇。它有包括高度、承重能力和隔震性能在內(nèi)的多種配置選項。大多數(shù)頂部應該選擇由帶有拉桿的四柱系統(tǒng)支撐，但對于那些長度超過10英尺（3米）的頂部，我們建議使用6柱系統(tǒng)。除了更高的承重能力之外，頂部的結(jié)構(gòu)特性還通過額外的支撐點得到了增強。如果支柱之間需要開放式通道，則可以選擇Micro-g獨立式支柱來代替帶有拉桿的支柱。雖然一般配置為4和6條支腿，但其他配置可包括3和5條支腿。獨立支柱為相對于光學頂部的支柱定位提供了很好的靈活性。
LaserTable-Base：LaserTable-Base™是現(xiàn)有TMC隔震平臺隔震技術(shù)的一大飛躍。通常，TMC隔震平臺由低頻氣動隔震系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的震動。TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性震動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻震動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個集成的消震系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔震系統(tǒng)的綜合效應，這實現(xiàn)了低頻率消震和的高頻隔震水平。LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設(shè)計，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔震器或剛性、非隔震支架，具體取決于應用要求。
| LaserTable-Base的規(guī)格 | |
| 技術(shù) | STACIS®技術(shù) |
| 消震系統(tǒng) | 主動慣性消震系統(tǒng) |
| 消震頻率 | 消震從低于1 Hz開始 |
| 行程 | 加長行程的壓電致動器，高達60微米 |
| 自由度 | 6個主動自由度 |
| 隔震效果 | 由兩個串聯(lián)隔震系統(tǒng)組成，可實現(xiàn)優(yōu)異隔震效果 |
| 隔震器 | 采用MaxDamp®空氣隔震器 |
| 結(jié)構(gòu) | 簡單、堅固且經(jīng)濟高效 |
| 數(shù)字控制器 | 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器 |
| 擱板（可選） | 用于在工作臺下方安裝設(shè)備 |
