應(yīng)用案例
* 零膨脹材料的研制
* 負(fù)極負(fù)熱膨脹材料的研制
* 標(biāo)準(zhǔn)材料開(kāi)發(fā)
* 致動(dòng)器材料的開(kāi)發(fā)
用途
* 10-9/K級(jí)極低膨脹系數(shù)材料(玻璃,陶瓷,金屬等)的高精度熱膨脹測(cè)量
* 半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置光學(xué)曝光元件的測(cè)量
* 測(cè)量精密載物臺(tái)零件
* 航空航天相關(guān)高精度所需材料的測(cè)量
* 高精度光圖基板構(gòu)件的測(cè)量
* 低膨脹系數(shù)材料的質(zhì)量控制
* 標(biāo)準(zhǔn)熱膨脹儀校準(zhǔn)樣品的測(cè)量
特點(diǎn)
* 通過(guò)在設(shè)備中包括振動(dòng)消除機(jī)構(gòu),可以防止振動(dòng)擾動(dòng)的影響,并且可以在能夠穩(wěn)定使用普通電子天平(0.01毫克分辨率)進(jìn)行分析的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。(日本:2016-058190、058191、058192)
* 測(cè)量樣品相對(duì)于激光波長(zhǎng)(632.8 nm)的位移量。集成光學(xué)元件可以消除雜散光,提高干涉條紋信號(hào)的 信噪比。不需要特殊位移校準(zhǔn)的測(cè)量和操作。
* 通過(guò)用圖像傳感器檢測(cè)干涉條紋并對(duì)其進(jìn)行圖像處理,即使在樣品測(cè)量過(guò)程中,也可以以高分辨率(1納 米)計(jì)算位移(膨脹/收縮)量,并確認(rèn)膨脹系數(shù)。
* 符合JIS R3251-1990標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備參數(shù)
應(yīng)用實(shí)例